소속 : 순천대학교 재료금속
관찰소재 : Silicon nanowire on ITO
관찰장비 : FE-SEM
배율 : 50,000배

투명전극으로 널리 쓰이는 ITO 박막을 수소 플라즈마 처리후 생성된 indium cluster를 촉매로 하여 PECVD 장비를 통해 ITO 박막위에 실리콘 나노 와이어를 성장시킨 이미지로 나노 와이어 성장 방법중 vapor-liqud-solid (VLS) 메카니즘을 잘 설명해주는 사진이라 할수 있습니다. 촉매로 부터 성장된 나노 와이어가 FE-SEM 이미지로 보니 우리 눈의 복잡한 시신경을 닯았네요!